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高纯金属材料对溅射靶材的生产有何作用?

作者:瑞禧生物 发布时间:2022-08-09 10:17:12 次浏览

一般来说,溅射靶材主要由靶坯、背板等部分构成,其中,靶坯是高速离子束流轰击的目标材料,属于溅射靶材的核心部分,在溅射镀膜过程中,靶坯被离子撞击后,其表面原子被溅射飞散出来并沉积于基板上制成电子薄膜;由于高纯度金属强度较低,而溅射靶材需要安装在专用的机台内完成溅射过程,机台内部为高电压、高真空环境,因此,超高纯金属的溅射靶坯需要与背板通过不同的焊接工艺进行接合,背板起到主要起到固定溅射靶材的作用,且需要具备良好的导电、导热性能。 在溅射靶材应用领域中,半导体芯片对溅射靶材的金属材料纯度、内部微观结构等方面都设定了**苛刻的标准,高纯度乃至超高纯度的金属材料是生产高纯溅射靶材的基础,以半导体芯片用溅射靶材为例,若溅射靶材杂质含量过高,则形成的薄膜无法达到使用所要求的电性能,并且在溅射过程中易在晶圆上形成微粒,导致电路短路或损坏,严重影响薄膜的性能。通常情况下,高纯金属提纯分为化学提纯和物理提纯,为了获得更高纯度的金属材料,**限度地去除杂质,需要将化学提纯和物理提纯结合使用。在将金属提纯到相当高的纯度后,往往还需配比其他金属元素才能投入使用,在这个过程中,需要经过熔炼、合金化和铸造等步骤:通过精炼高纯金属,去除氧气、氮气等多余气体;再加入少量合金元素,使其与高纯金属充分结合并均匀分布;最后将其铸造成没有缺陷的锭材,满足生产加工过程中对金属成份、尺寸大小的要求。 相较于半导体芯片,平面显示器、太阳能电池对于溅射靶材的纯度和技术要求略低一筹,但随着靶材尺寸的增大,对溅射靶材的焊接结合率、平整度等指标提出了更高的要求。此外,溅射靶材需要安装在溅射机台内完成溅射过程,溅射机台专用性强,对溅射靶材的形状、尺寸和精度也设定了诸多限制。超高纯金属及溅射靶材是电子材料的重要组成部分,溅射靶材产业链主要包括金属提纯、靶材制造、溅射镀膜和终端应用等环节,其中,靶材制造和溅射镀膜环节是整个溅射靶材产业链中的关键环节。 是**提供各种规格的高纯溅射靶材的公司,如有需要欢迎联系咨询。现将部分产品展示如下: 铬铝靶材 铬铝硅靶材 钛铝旋转靶材 镍锰锡靶材 钼靶材 锆靶材 锌靶材 镱靶材 钇靶材 钨靶材 钛铝靶材 钛靶材 锡靶材 钐靶材 锑靶材 镍靶材 钕靶材 铝靶材 铟银磅锑靶材 铪靶材 铁靶材 铜锰镍合金靶材 铜铟靶材 铜靶材 铬靶材铬 铝合金靶材 钴靶材 铈靶材 铋靶材 Al靶材 银靶材 TiAl靶材 矩形靶材 贵金属靶材 合金靶材 金属靶材 旋转靶材 平面靶材 温馨提示:提供的所有产品仅用于科研,axc